氧化鋯陶瓷浮動(dòng)拋光法
當(dāng)氧化鋯陶瓷工件與研具作高速相對(duì)運(yùn)動(dòng)時(shí)，由于拋光液的流體動(dòng)壓效應(yīng)使工件微量浮起與研具脫離接觸，液膜中的微細(xì)軟磨料與工件外層表面的原子相互擴(kuò)散，降低了工件最外層表面的原子結(jié)合能，因而能被磨粒粒子沖擊去除，達(dá)到光整工件表面而又不致產(chǎn)生表層晶體的錯(cuò)位。
雖氧化鋯陶瓷加工效率較低，但是一種可獲得極高的平面度，而又沒(méi)有端面塌邊和變形缺陷的高表面質(zhì)量的超精密加工方法。
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