氧化鋁陶瓷的介電常數(shù)為9.21εr(20℃,1MHz),非常的絕緣,且導(dǎo)熱系數(shù)為20W/m·K(20℃),是一種良好的耐高溫導(dǎo)熱陶瓷,所以半導(dǎo)體器件中常采用氧化鋁陶瓷作陶瓷基片。下面科眾陶瓷廠簡單給大家介紹下氧化鋁陶瓷基片。
氧化鋁陶瓷是目前制造和加工技術(shù)最成熟的陶瓷基片材料,其主要成分為α-Al2O3。根據(jù)Al2O3含量的不同又分為75瓷,85瓷,95瓷和99瓷等不同牌號(hào)。Al2O3。陶瓷具有介電損耗低,機(jī)械強(qiáng)度較高,化學(xué)穩(wěn)定性好等優(yōu)點(diǎn)。
陶瓷基片
雖然Al2O3陶瓷是目前最成熟的陶瓷基片材料,但其熱導(dǎo)率較低,如99瓷Al2O3。熱導(dǎo)率僅為29W/(m·K)。此外,Al2O3熱膨脹系數(shù)與半導(dǎo)體芯片材料Si、SiC等的熱膨脹系數(shù)相差較大,在冷熱循環(huán)中容易累積內(nèi)應(yīng)力,增加了芯片失效概率。因?yàn)槿缟戏N種因素使得Al2O3基片很難適應(yīng)半導(dǎo)體器件大功率化的發(fā)展趨勢(shì)。
所幸的是,氧化鋁基片具有超高的性價(jià)比,在部分要求不那么高的應(yīng)用領(lǐng)域也還是保有其重要位置。目前主要應(yīng)用于主要在中、低功率范圍領(lǐng)域,例如通用電力電子、聚光太陽能、帕爾貼部件(熱電半導(dǎo)體致冷器件)、汽車應(yīng)用半導(dǎo)體模塊等。
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本文“氧化鋁陶瓷基片材料簡介”由科眾陶瓷編輯整理,修訂時(shí)間:2022-12-27 14:29:37
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